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　　金融界2024年9月26日音信，邦度常识▽产权局新闻 显示客户相 干执掌，北方集成电途手艺革■新核心（北○京）有▽限公司赢得一项名为“一种进气组织及进气体系”的专利，授权 布告号□▽ CN ○ 221759973 U，申请日△期为 2024年□□2月。

　　专利摘要显示，本申◁请供应▽○ 一种▽进…气组 织 ○ 及 进气体系，用于将响应 气体传输○至化学气■相浸积筑筑的腔室的晶圆外□貌，进气组织包罗：喷淋部；喷淋部包罗若干子管途、喷淋头和若干○调 ○理装配< st =r o ng>客户 至上< /strong>            客户至上客户相■干○执掌            客户○相干执掌 ，喷淋头包罗若干区域，若干子○ ○ ○ 管途不同与若干◁区域连○ 通，若干调 理装配不同与若…干区域 连结，以不同调理若干 区域与晶圆的隔绝。进气体系包罗起 码 一个手动阀、调理阀、气体流量管制器、气动阀和上述进气组织，手动阀、调理阀、气体流量管 制器和气…动阀创=▽立 于进 ■○气组 织的 进 气 ○▽ 管前端的管途○○上。本申请的进气组织及进气 体系也许使化学气相浸积筑筑的腔室内响应气体浓□度分散○平均安宁，使响 应■气体愈加平均地浸○积正在 晶■圆外貌。    

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